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膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品型號:EQ-TM106
產(chǎn)品品牌:上海升利
產(chǎn)品概述:
EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

主要特點

本機可與計算機連接。

顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

通過軟件或顯示儀可對門]控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置,并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。


EQ-TM106-1監(jiān)測組件

電源: DC5V (土10%),最大電流400mB
頻率分辨率:土0. 03Hz
膜厚分辨率: 0. 0136A (鋁)
膜厚準(zhǔn)確度:士0. 5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度
測量速度: 100ms-1s/次, 可設(shè)置
測量范圍: 500000 (鋁)
標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體: 6MHz
計算機接口: RS-232/485串行接口( 波特率1200、2400、 4800、9600、 19200、 38400可設(shè)置, 數(shù)據(jù)位: 8,停止位: 1,校驗:無)模擬輸出: 8比特分辨率, PWmM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5v輸出)
工作環(huán)境:溫度0-50C,濕度5%- -85%RH,不得有冷凝水珠
外形尺寸: 90mmX 50mmX 18mm


EQ-TM106-2顯示

輸入電源: AC 220V+10%
輸出電源: DC5V 3A
顯示器: 12X 2數(shù)碼管與LED

通訊端口: RS -485 (波特率1200、2400、 4800、 9600、 19200、 38400可設(shè)置, 數(shù)據(jù)位: 8位,停止位: 1位, 奇偶校驗:無)

外形尺寸: 182mX 65mmX 160mm


EQ-TM106- 3探頭

適用晶片頻率: 6MHz
適用晶片尺寸:中14mm
安裝法蘭: CF35
冷卻水管:中3mm,長度300mm、500mm、 1000mm
冷卻水壓: <0. 3MPa
氣動擋板路管:中3mm
壓縮空氣壓力:
烘烤溫度:通水狀態(tài)<200C,不通水狀態(tài)法蘭<100C
電氣接口: BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件
1EQ- -TM106-1監(jiān)測組件1個2EQ-TM106 -2顯示儀1臺3EQ -TM106- -3探頭1個

質(zhì)保期
一年質(zhì)保期,終身維護
0

  李總:138-1739-9656

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