- 技術(shù)參數(shù)
Technical parameters
- 實驗案例
Experimental cases
- 應(yīng)用提示
Application Tips
- 配件詳情
Accessory Details
產(chǎn)品型號
TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀
主要特點
1、光學薄膜測量解決方案
2、非接觸、非破壞測量
3、覆蓋單層到多層薄膜
4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜
5、配置靈活、支持定制化
6、采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋可見光到近紅外范圍
7、采用光機電高度整合- 體化設(shè)計，體積小，操作簡便
8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層，
TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀
主要特點
1、光學薄膜測量解決方案
2、非接觸、非破壞測量
3、覆蓋單層到多層薄膜
4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜
5、配置靈活、支持定制化
6、采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋可見光到近紅外范圍
7、采用光機電高度整合- 體化設(shè)計，體積小，操作簡便
8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層，
9、配置強大核心分析算法: FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息
技術(shù)參數(shù)
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型號 |
TFMS-IW |
TFMS-IV（可選） |
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基本功能 |
獲取薄膜厚度值以及R、N/K (可選)等光譜 |
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光譜波長范圍 |
380-800nm |
650-1100nm (可選) |
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測量厚度范圍 |
50nm-20um |
100nm-200um (可選) |
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測量時間 |
<1° |
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光斑尺寸 |
0. 5-3mm |
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重復(fù)精度 |
0. 1nm ( 100nmSi02/Si) |
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絕對精度 |
土1nm or 0. 5% |
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入射角方式 |
垂直入射 |
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可選配件
1、溫控臺
2、Mapping擴展模塊
3、真空泵
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