- 技術(shù)參數(shù)
Technical parameters
- 實(shí)驗(yàn)案例
Experimental cases
- 應(yīng)用提示
Application Tips
- 配件詳情
Accessory Details
主要技術(shù)指標(biāo) :
1、 結(jié)構(gòu)：臥式，前開門；
2、 控制方式：觸摸屏(昆侖通泰)+ PLC全自動(dòng)控制（西門子）；
3、 爐殼材料：內(nèi)層304不銹鋼；
4、 真空泵：分子泵＋機(jī)械泵；
5、 有效使用空間：寬 300 x 高 300 x 深400 mm；
6、 溫度：工作溫度1300℃， 最高溫度:1350℃
7、 控制精度：±1℃；
8、 加熱器：材料高溫鉬，圓周加熱(一個(gè)控溫?zé)犭娕迹粋€(gè)測(cè)溫?zé)犭娕?span>)；
9、 真空度： 冷態(tài)極限：優(yōu)于5x 10-4Pa（空爐，潔凈）， 工作優(yōu)于5x 10-3Pa
10、 壓升率：< 0.67Pa/h；
11、 升溫速率：0-15℃ /min可控；
12、 料臺(tái)承重：50Kg(不含托盤)。
13、 溫度均勻性：±7℃
14、電源要求： 3相5線制， 380V 50Hz；
15、總功率：約40kW；
16、水質(zhì)要求：PH值：7-9
17、壓縮空氣：干燥無水，氣壓0.8-1MP
爐體由爐殼、爐門、熱屏蔽層、加熱器等組成。
爐殼由筒體與法蘭焊接組成，雙層殼體焊接冷卻水套，爐門為封頭與法蘭焊接，為方便清潔及放料，采用前爐門側(cè)開門機(jī)構(gòu)，材料為內(nèi)層優(yōu)質(zhì)不銹鋼。爐體經(jīng)嚴(yán)格的焊接工藝外表噴漆處理；密封圈全部采用優(yōu)質(zhì)的氟橡膠圈密封。
熱屏蔽層為3層鉬與4層不銹鋼結(jié)合體(按現(xiàn)場(chǎng))。工件立柱采用鉬合金材料，不僅強(qiáng)度高，抗變形，并且透光率高。
加熱器包括電極與加熱元件、溫度測(cè)量。加熱器為帶狀結(jié)構(gòu)，材料為高溫鉬作為發(fā)熱元件。配有一根熱電偶溫控儀控溫使用。另配一根備用熱電偶作為工藝測(cè)量用。
特別注意：
1：分子泵啟動(dòng)前必須先用真空泵將爐內(nèi)壓力抽至10pa以下，并打開擋板閥、下蝶閥，真空泵持續(xù)開不能斷。
2：分子泵停止時(shí)，待分子泵完全停止后才可關(guān)閉閥門，真空泵。
①、運(yùn)行前檢查事項(xiàng)：
A、打開冷水機(jī)，檢查運(yùn)行是否正常，水是否充足，務(wù)必保證全程不斷水。
B、打開設(shè)備電流，檢查是都有報(bào)警，各顯示是否正常。
C、檢查各氣管連接是否正常。
D、手動(dòng)泄壓閥是否擰緊。
E、爐門是否鎖緊
F、真空泵油是否處于正常液面。
G、運(yùn)行時(shí)特別注意，進(jìn)氣壓力不得 超過1個(gè)大氣壓，爐內(nèi)壓力不得超過20kpa。
H、手動(dòng)進(jìn)氣排氣是否順暢。
I、設(shè)備運(yùn)行中，若排氣壓力＞上限壓力 排氣閥已打開，爐內(nèi)壓力還持續(xù)上升，立即打開手動(dòng)泄壓閥，并調(diào)小進(jìn)氣量。
②、自動(dòng)運(yùn)行相關(guān)操作及事項(xiàng)
控制面板說明：
A、真空燒成
1. 操作畫面選擇真空燒成，關(guān)閉壓控儀外控開關(guān)。
2. 參數(shù)設(shè)置畫面，設(shè)置相關(guān)參數(shù)，即開加熱真空度、冷卻結(jié)束溫度、上限壓力。
3. 工藝設(shè)置畫面，設(shè)置升溫曲線（最后結(jié)束語必須是-121）升溫速率建議5℃/min左右
4. 點(diǎn)擊操作畫面→點(diǎn)擊自動(dòng)控制→點(diǎn)擊自動(dòng)運(yùn)行啟動(dòng)即可運(yùn)行。
5. 待電離規(guī)抽至6.7E-3以后，可設(shè)置壓控氣壓，并在觸摸屏控制界面，點(diǎn)擊外控儀控制開關(guān)，即可對(duì)爐膛釋壓，達(dá)到設(shè)定氣壓。
6. 運(yùn)行時(shí)加熱觀察三相電流是否均衡
7. 建議100℃以下開爐門
注意事項(xiàng)：
1. 每次運(yùn)行前檢查電阻硅值是否大于9.0EO(9pa）
2. 當(dāng)電離規(guī)壓力超過開加熱真空度未加熱時(shí)，輕微打開手動(dòng)泄壓閥或打開壓控儀外控開關(guān)（大于開加熱真空度）等電離規(guī)大于開加熱真空度時(shí)立即關(guān)閉，重新觸發(fā)加熱程序
B、保壓燒結(jié)（進(jìn)氣壓力＜排氣壓力）
1、操作畫面選擇：邊進(jìn)邊排，關(guān)閉壓控儀表外控開關(guān)。
2、參數(shù)畫面設(shè)置相關(guān)參數(shù)，即進(jìn)氣壓力、排氣壓力、洗爐膛設(shè)定壓力值、排氣次數(shù)、上限壓力、冷卻結(jié)束溫度。
3、工藝設(shè)置畫面：設(shè)置升溫曲線。建議升溫速率為5℃/min
4、打開所用氣體閥門，其流速不超過3ml/s，盡量調(diào)小一點(diǎn)。
5、點(diǎn)擊操作畫面→點(diǎn)擊自動(dòng)控制→點(diǎn)擊自動(dòng)流動(dòng)運(yùn)行
6、注意觀察氣壓、電流表
C、邊進(jìn)邊排（進(jìn)氣壓力=排氣壓力）
1、 操作畫面選擇：邊進(jìn)邊排，關(guān)閉壓控儀表外控開關(guān)。
2、參數(shù)畫面設(shè)置相關(guān)參數(shù)，即進(jìn)氣壓力、排氣壓力、洗爐膛設(shè)定壓力值、排氣次數(shù)、上限壓力、冷卻結(jié)束溫度。
3、工藝設(shè)置畫面：設(shè)置升溫曲線。建議升溫速率為5℃/min
4、打開所用氣體閥門，其流速不超過3ml/s，盡量調(diào)小一點(diǎn)。
5、點(diǎn)擊操作畫面→點(diǎn)擊自動(dòng)控制→點(diǎn)擊自動(dòng)流動(dòng)運(yùn)行
6、注意觀察氣壓、電流表
二， 升溫、恒溫、降溫曲線圖：
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