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基本特點(diǎn)
兩區(qū)加熱室:底部加熱和側(cè)面加熱，容易產(chǎn)生溫度梯度MoSi2加熱元件，最高溫度1700°C
精密溫度控制，/-0.1°C精度
從0.03 m/hr到30 m/hr的精密提拉機(jī)構(gòu)。
優(yōu)質(zhì)纖維氧化鋁保溫，確保最佳節(jié)能效果

供電電源
AC 220V ，單相，50/60Hz
最大功率13KW

腔室尺寸: 280mm x 280mm x 210mm

加熱室

加熱元件: 1800C級(jí)MoSi2 ( 8根I型棒圓邊，3根直棒在底部)
側(cè)加熱和底部加熱獨(dú)立控制，以產(chǎn)生合適的溫度梯度
安裝四個(gè)B型熱電偶。兩個(gè)用于溫度控制,兩個(gè)用于溫度監(jiān)控。包括帶有20 mm孔的可拆卸頂蓋,以便于操作
在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，將一根內(nèi)徑為16m的氧化鋁管插入加熱室進(jìn)行觀察

工作溫度
最高工作溫度: 1700°C (< 1 hr)
標(biāo)準(zhǔn)工作溫度: 1600C (連續(xù))
兩個(gè)Eurotherm 3000控制器: 28步 可編程和自動(dòng)PID控制，/-0. 1oC精度兩個(gè)數(shù)字溫度監(jiān)視器用于過(guò)熱保護(hù)

建議升溫速率0^ 10°C/min

溫度控制

兩個(gè)Eurotherm 300控制器: 28步 可編程和自動(dòng)PID控制

-0. 1oC精度兩個(gè)數(shù)字溫度監(jiān)視器用于過(guò)熱保護(hù)
建議升溫速率0^ 10 C/min

提拉機(jī)構(gòu)
拉桿:含φ16mm氧化鋁桿(可根據(jù)要求定制桿)提拉速度: 0.03-30 mm/h (可設(shè)置)
最大行程: 320 mm
快速升降:手動(dòng)操作
旋轉(zhuǎn)速度: 0.03-80r/min (可設(shè)置)
注:坩堝不包括在內(nèi),客戶(hù)應(yīng)自行準(zhǔn)備坩堝

控制單元
14英寸觸摸屏PC,用于控制所有參數(shù):溫度、提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度
PC可以通過(guò)無(wú)線(xiàn)路由器在遠(yuǎn)程位置通過(guò)VIFI操作(需要選配無(wú)線(xiàn)控制模塊)尺寸: 900mmX 1200mmX 2500mm

尺寸和重量
重量: 450Kg

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